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一.SJ6000激光干涉儀功能

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測，可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

二.SJ6000激光干涉儀性能特點(diǎn)

1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達(dá)nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實(shí)時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合國?nèi)用戶的使用習(xí)慣。

4 性價比高

性能達(dá)到了國外儀器的水準(zhǔn)，價格是國內(nèi)儀器的良心價。

三.SJ6000激光干涉儀測量方法

1.1.直線度測量

1. 直線度測量構(gòu)建

SJ6000激光頭射出后的激光由直線度干涉鏡以一定的小角度分為兩束，并入射到直線度反射鏡中。經(jīng)直線度反射鏡反射后，沿著新光路返回到直線度干涉鏡中，經(jīng)直線度干涉鏡合束后返回激光頭的進(jìn)光口，由光電探測器、分析器完成計(jì)數(shù)和測量。

在直線度測量過程中，可以由直線度干涉鏡或者直線度反射鏡運(yùn)動所產(chǎn)生相對于運(yùn)動軸的橫向移動來進(jìn)行測量，一般盡可能的采用直線度干涉鏡相對于直線度反射的運(yùn)動，這樣操作有利于提高測量的準(zhǔn)確性和精度。直線度測量可以對水平面和垂直面進(jìn)行測量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。

1. 直線度測量應(yīng)用

由于導(dǎo)軌磨損、事故造成的導(dǎo)軌損壞以及地基不牢導(dǎo)致的導(dǎo)軌彎曲等，會對機(jī)器的定位、加工精度帶來直接的影響。直線度測量可以顯示出機(jī)器導(dǎo)軌的彎曲或直線度的情況，并可由生成的直線度誤差對機(jī)器的性能做出評價和補(bǔ)償。

1. 機(jī)器軸、直線導(dǎo)軌測量

當(dāng)需要測量導(dǎo)軌較長時，傳統(tǒng)的直角測量方法無法提供這樣的測量長度和精度，測量時較重的角錐反射鏡的移動可能會對測量的準(zhǔn)確性產(chǎn)生影響，所有一般建議將質(zhì)量較輕的直線度干涉鏡作為移動部件。

1. 機(jī)床工作臺直線度測量

測量時，直線度反射鏡固定在機(jī)床的工作臺上，直線度干涉鏡安裝在移動的刀具位置，通過刀頭的移動就可以記錄下機(jī)床刀頭的直線度。