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一.SJ6000激光干涉儀概述

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國(guó)進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過(guò)激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組可以測(cè)量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

二.SJ6000激光干涉儀性能特點(diǎn)

1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用美國(guó)高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)

③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。

②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶切換測(cè)量類型。

③向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合?guó)內(nèi)用戶的使用習(xí)慣。

4 性價(jià)比高

性能達(dá)到了國(guó)外儀器的水準(zhǔn)，價(jià)格是國(guó)內(nèi)儀器的良心價(jià)。

三.SJ6000激光干涉儀原理

一個(gè)角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上，形成固定長(zhǎng)度參考光束。另一個(gè)角錐反射鏡相對(duì)于分光鏡移動(dòng)，形成變化長(zhǎng)度測(cè)量光束。

從激光頭射出的激光光束(1)具有單一頻率，標(biāo)稱波長(zhǎng)為0.633µm，長(zhǎng)期波長(zhǎng)穩(wěn)定性（真空中）優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達(dá)偏振分光鏡時(shí)，被分成兩束光—反射光束(2)和透射光束(3)。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在嵌于激光頭中的探測(cè)器中形成干涉光束。

如果兩光程差不變化，探測(cè)器將在相長(zhǎng)干涉和相消干涉的兩端之間的某個(gè)位置觀察到一個(gè)穩(wěn)定的信號(hào)。如果兩光程差發(fā)生變化，每次光路變化時(shí)探測(cè)器都能觀察到相長(zhǎng)干涉和相消干涉兩端之間的信號(hào)變化。這些變化（條紋）被數(shù)出來(lái)，用于計(jì)算兩光程差的變化。測(cè)量的長(zhǎng)度等于條紋數(shù)乘以激光波長(zhǎng)的一半。

應(yīng)當(dāng)注意到，激光波長(zhǎng)將取決于光束經(jīng)過(guò)的空氣的折射率。由于空氣折射率會(huì)隨著氣溫、壓力和相對(duì)濕度的變化而變化，用于計(jì)算測(cè)量值的波長(zhǎng)值可能需要對(duì)這些環(huán)境參數(shù)的變化進(jìn)行補(bǔ)償。在實(shí)踐中，對(duì)于技術(shù)指標(biāo)中的測(cè)量精度，只有線性位移（定位精度）測(cè)量需要進(jìn)行此類補(bǔ)償，在這種情況下兩束光的光程差變化可能非常大。

四.SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

• 系統(tǒng)性能

    測(cè)量方式：?jiǎn)晤l

    穩(wěn)頻精度：0.05ppm

    動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

    預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘

    工作溫度范圍：0~38℃

    環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95%

    存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃

• 環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

    空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

    空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

• 線性測(cè)量

    測(cè)量距離：0-40m

    測(cè)量精度：0.5ppm (0-38℃)

    測(cè)量分辨率：1nm

    測(cè)量最大速度：3m/sec